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证券之星消息，9月29日，半导体设备ETF易方达基金（159558）最新份额为189.3亿份，较前一交易日增加了1.53亿份。当日资金净流入1.1亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为199.04亿元。该基金近一周净值下跌6.2%，近一个月净值下跌7.11%。
半导体设备ETF易方达基金成立于2024年6月6日，基金经理为李栩，基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立以来超额回报为-12.19%，近一个月超额回报为0.11%。最新披露的基金持仓数据显示，截止2026年6月30日，该基金第一大重仓股为中微公司（688012），持股占比为15.07%。
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